电子工业专用设备
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趋势与展望
福建省碳化硅衬底专利技术现状与发展建议
许鲜;
2024年01期 v.53;No.304 1-5页
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基于白名单的工控管理系统
杜银学;郑栋娥;王金庚;马永军;虎成;
2024年01期 v.53;No.304 6-9+18页
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半导体制造工艺与设备
直线式共晶固晶机的设计与实现
郑嘉瑞;
2024年01期 v.53;No.304 10-14页
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外延生长设备EFEM系统设计
陈国钦;吴限;周立平;巴赛;
2024年01期 v.53;No.304 15-18页
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适用于器件制程的立式扩散/氧化设备设计与验证
陈庆广;赵瓛;黄升;曾裕民;姬常晓;刘洪文;王成宇;彭浩;易文杰;
2024年01期 v.53;No.304 19-23页
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直流磁控溅射系统研究及其维护
吴海;张文朋;王露寒;程壹涛;
2024年01期 v.53;No.304 24-29页
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材料制造工艺与设备
碳化硅长晶工艺中压力控制系统设计
王宏杰;靳丽岩;李林高;王飞龙;
2024年01期 v.53;No.304 30-33页
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]
靶通道选择器研究与优化设计
鲁彤;袁祖浩;李明;王佳方;何秋福;
2024年01期 v.53;No.304 34-37页
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]
国产碳化硅离子注入机的设计开发
袁卫华;李进;罗才旺;许波涛;
2024年01期 v.53;No.304 38-42页
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柔性透明导电膜用UV胶的配方探讨
徐丹丹;秦苏琼;陶军;瞿然;刘世国;
2024年01期 v.53;No.304 43-47+57页
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VGF半绝缘GaAs单晶片的碱腐蚀特性研究
于妍;吕菲;李纪伟;康洪亮;
2024年01期 v.53;No.304 48-50页
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电子专用设备研究
基于四象限传感器的物料自动校准策略研究
常美榕;刁坤杰;周小水;刘嘉玮;史文明;
2024年01期 v.53;No.304 51-57页
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快慢自适应大夹持力机构设计及实验验证
田世伟;周庆奎;赵宏亮;赵宝君;宋婉贞;班超;
2024年01期 v.53;No.304 58-62+68页
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柔性电子制造技术在叠压机设计中的应用研究
杨志;武杰;
2024年01期 v.53;No.304 63-68页
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电机冷却水热时间常数模型分析及影响因素研究
董丽坤;李树彦;崔晓兵;刘阳;范少峰;
2024年01期 v.53;No.304 69-74页
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