电子工业专用设备

2018, v.47;No.271(04) 42-45+65

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拉曼光谱在第三代半导体材料测试领域的应用
Application of Raman Spectroscopy on the Measurement of 3rd-generation-semiconductors

付丙磊;张争光;王志越;

摘要(Abstract):

对第三代半导体GaN材料体系的拉曼光谱测试进行了综述,并展望了其在第三代半导体无损检测领域的应用前景。

关键词(KeyWords): 拉曼光谱;GaN;无损检测

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 付丙磊;张争光;王志越;

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参考文献(References):

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