电子工业专用设备

2018, v.47;No.271(04) 23-26

[打印本页] [关闭]
本期目录 | 过刊浏览 | 高级检索

碳化硅材料研究现状与应用展望
Research Status and Application Prospect of Silicon Carbide Materials

王家鹏;贺东葛;赵婉云;

摘要(Abstract):

介绍了碳化硅材料的物理特性、加工工艺,展望了碳化硅材料的应用前景,提出了深入研究碳化硅材料的必要性以及紧迫感。

关键词(KeyWords): 碳化硅;半导体材料;加工工艺;应用展望

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 王家鹏;贺东葛;赵婉云;

Email:

扩展功能
本文信息
服务与反馈
本文关键词相关文章
本文作者相关文章
中国知网
分享