电子工业专用设备

2018, v.47;No.271(04) 32-35+69

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AlGaN/GaN HEMT材料的高温MOCVD生长研究
Study of AlGaN/GaN HEMT Materials Grown by High Temperature MOCVD

陈峰武;巩小亮;罗才旺;程文进;魏唯;鲍苹;

摘要(Abstract):

高电子迁移率AlGaN/GaN HEMT结构材料的研制一直是GaN基射频微波器件的重要发展方向。采用自主研制的生产型高温MOCVD设备进行AlGaN/GaN HEMT结构材料的生长,通过高温MOCVD外延生长技术改善了AlGaN势垒层、AlN插入层的晶体质量和表面质量,从而获得了较高二维电子气迁移率的AlGaN/GaN HEMT结构材料。高分辨X射线衍射仪的分析表明,AlGaN外延层Al组分含量为22.7%,厚度为19.4 nm;Hall效应测试仪的测试表明,HEMT结构材料的室温二维电子迁移率和浓度分别为2 040 cm~2/V·s和6.15×10~(12) cm~(-2),具有较为优异的二维电子气输运性能。上述研究结果表明:国产高温MOCVD设备可为高电子迁移率AlGaN/GaN HEMT结构材料的研制提供新的设备平台。

关键词(KeyWords): 高电子迁移率晶体管;AlGaN;高温金属有机物化学气相沉积;二维电子气迁移率

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 陈峰武;巩小亮;罗才旺;程文进;魏唯;鲍苹;

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